特許
J-GLOBAL ID：200903030148746917

液晶表示素子の製造方法および液晶表示素子製造装置

発明者：
御園 健司

御園 健司 について

, 
西田 賢治

西田 賢治 について


出願人/特許権者：
シャープ株式会社

シャープ株式会社 について


代理人 (1件)： 小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-292111
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125811
出願日： 1997年10月24日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 厚さ0.7mm以下の薄型ガラス基板またはプラスチックからなるプラスチック基板を用いた場合でも、位置ずれすることなくステージ上に吸着固定する。【解決手段】 吸着口2のうち、第1の領域3の吸着口2aは、ステージ1内部に設けられている第1の連通路にそれぞれ接続されている。そして、第1の連通路は、切換弁を介して真空ポンプに接続されている。また、第2の領域7の吸着口2bは、第2の連通路にそれぞれ接続され、第2の連通路は切換弁を介して真空ポンプに接続されている。また、第3の領域9の吸着口2cは、第3の連通路にそれぞれ接続され、第3の連通路は切換弁を介して真空ポンプに接続されている。切換弁によって、真空ポンプを作動したときの真空吸着力が、各連通路から各吸着口を通して作用する状態へ切り換えが行われる。
請求項（抜粋）：
複数の吸着口が開口する平坦な載置面を有する載置台上に、前記吸着口を通して吸着力を作用させて絶縁性基板を固定し、前記絶縁性基板に各種の処理を施す液晶表示素子の製造方法において、前記絶縁性基板を少なくとも二つの領域に分割し、前記領域毎に時間差を設けて前記吸着口を通して前記絶縁性基板に吸着力を作用させ、前記絶縁性基板を固定して各種の処理を施すことを特徴とする液晶表示素子の製造方法。
IPC (7件)：
G02F 1/1333 500 ,  B23Q 3/08 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 339 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (7件)：
G02F 1/1333 500 ,  B23Q 3/08 A ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 339 Z ,  H01L 29/78 612 Z ,  H01L 29/78 626 C
引用特許：
審査官引用 (3件)

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