特許
J-GLOBAL ID:200903030219327651

板状プリズムを用いた分光方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 竹本 松司 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-130354
公開番号(公開出願番号):特開2001-311685
出願日: 2000年04月28日
公開日(公表日): 2001年11月09日
要約:
【要約】【課題】 微小領域の測定を行い、また、マッピング測定において、面分析を可能とし、測定操作の簡略化及び測定時間の短縮化する。【解決手段】 試料より大きな屈折率を有する板状プリズムの平面を試料表面に密着させ、板状プリズムに入射光を照射し、板状プリズムと試料の界面で反射された反射光を受光して反射スペクトルを測定し、反射スペクトルから吸収スペクトルを算出して試料を分析するものであって、試料と板状プリズムの接触面を測定領域として定め、接触面を合焦位置とすることによって一測定領域のみからの反射光を受光して、微小領域の測定を可能とする。
請求項(抜粋):
試料より大きな屈折率を有する板状プリズムの平面を試料表面に密着させ、板状プリズムに入射光を照射し、板状プリズムと試料の界面で反射された反射光を受光して反射スペクトルを測定し、反射スペクトルから吸収スペクトルを算出して試料を分析するものであって、試料と板状プリズムの接触面を測定領域として定め、接触面を合焦位置とすることによって一測定領域のみからの反射光を受光して、微小領域の測定を可能とすることを特徴とする板状プリズムを用いた分光方法。
IPC (2件):
G01N 21/27 ,  G01N 21/35
FI (2件):
G01N 21/27 C ,  G01N 21/35 Z
Fターム (12件):
2G059AA01 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ06 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM20
引用特許:
審査官引用 (3件)

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