特許
J-GLOBAL ID：200903030234821239
導電性ボールのリフロー装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-165480
公開番号（公開出願番号）：特開平11-017323
出願日： 1997年06月23日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：
【要約】【課題】 窒素ガスの消費量を低減することができる導電性ボールのリフロー装置を提供することを目的とする。【解決手段】 リフロー装置の加熱室1を仕切壁2、3によって予熱ゾーンZ1、リフローゾーンZ2及び冷却ゾーンZ3に分ける。予熱手段としてホットプレート6を設け、加熱手段としてリフローゾーンZ2の上方に赤外線ランプ13を備える。テープ状のワークであるTABテープ7はホットプレート6で予熱された後、リフローゾーンZ2で赤外光を照射され光エネルギによって直接加熱される。ヒータやファンを必要としないため加熱室1を小さくすることができ、したがって窒素ガス供給装置15から供給される窒素ガスの消費量を低減することができる。また、ワークの昇温・降温時の応答性がよいのでワークが過熱して焼損することを防止できる。
請求項（抜粋）：
導電性ボールが搭載されたテープ状のワークを加熱することにより導電性ボールをテープ状のワークに半田付けする導電性ボールのリフロー装置であって、加熱室と、加熱室内でテープ状のワークを搬送する搬送手段と、加熱室内のテープ状のワークを光エネルギーにより加熱する加熱手段と、加熱室内に窒素ガスを供給する窒素ガス供給手段とを備えたことを特徴とする導電性ボールのリフロー装置。
IPC (3件)：
H05K 3/34 505
, H05K 3/34 507
, H01L 23/12
H05K 3/34 505 A
, H05K 3/34 507 H
, H01L 23/12 L
