特許
J-GLOBAL ID：200903030317641844
近接場光学顕微鏡用プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-236787
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082792
出願日： 1996年09月06日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 近接場光学顕微鏡用プローブの先鋭部に微小開口を有する遮光性被覆層を容易に形成することができ、分解能に優れるとともに生産性の向上が図れる近接場光学顕微鏡用プローブを獲得する。【解決手段】 近接場光学顕微鏡用プローブに形成された先鋭部3表面に、無電界めっき法によって当該先鋭部の先端周辺を除いて遮光性被覆層4を形成し、この遮光性被覆層4から上記先鋭部3の先端5を突出させる。
請求項（抜粋）：
先鋭部を有する近接場光学顕微鏡用プローブであって、上記先鋭部表面に、無電界めっき法によって当該先鋭部の先端周辺を除いて遮光性被覆層が形成され、この遮光性被覆層から上記先鋭部の先端が突出した開口部を有することを特徴とする近接場光学顕微鏡用プローブ。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G02B 6/10
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
, G02B 6/10 D
