特許

J-GLOBAL ID：200903062971850010

走査型近視野原子間力顕微鏡、及びその顕微鏡に使用されるプローブ、及びそのプローブの製造方法

発明者： 村松 宏 ,  千葉 徳男 ,  安宅 龍明 ,  藤平 正道
出願人/特許権者： セイコー電子工業株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-052248
公開番号（公開出願番号）：特開平7-174542
出願日： 1994年03月23日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 試料の光透過性や導電性の有無にかかわらず、高解像度で試料の表面形状および光特性の測定が可能な装置を実現する。【構成】 先端部とこれにつながる光伝搬体が鈎状の形状を有するプローブ4と、試料37に光を照射する光源34と、試料37を透過あるいは試料37で反射された光を受ける光電変換素子38および光学系と、プローブ4のたわみを検出するためのレーザー光源30と、レーザー光をプローブ裏面に照射する集光レンズ31と、反射光を検出する検出系33と、試料37とプローブ4を相対移動させる粗動機構39及び微動機構40と、試料37とプローブ4間の距離を制御する制御手段41と、装置全体を制御するコンピューター42から構成され、試料表面の形状及び光学的特性を観察する。

請求項（抜粋）：

端部に光を透過する透過孔を有する光伝搬媒体からなり、透過孔部が尖鋭な先端部と成るよう構成され、先端部とこれにつながる光伝搬体が鈎状の形状を有するプローブ。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-189142
  
• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-305998   出願人：オリンパス光学工業株式会社