特許

J-GLOBAL ID：200903030347512844

有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス装置

発明者： 内田 昌宏
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-063701
公開番号（公開出願番号）：特開2007-242436
出願日： 2006年03月09日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：

【課題】有機エレクトロルミネッセンス表示装置とその製造方法を提供する。【解決手段】塗布法により基板の全面に発光性有機機能層を成膜することで形成される有機EL表示装置において、発光領域以外の不要な発光性有機機能層をプラズマによるドライエッチングにより除去する場合、発光領域を含む陰極上に保護部材を設けることで、発光領域内の発光層を含む有機機能層は発光領域以外の有機機能層の除去工程時に発生するプラズマによる有機機能層へのダメージを防ぐことが出来る。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板上に少なくとも一層の発光性有機薄膜を含む有機機能層が第1電極と第2電極に狭持されて形成される有機エレクトロルミネッセンス素子が少なくとも一つ形成されている有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、 前記基板上に前記第1電極を形成する工程と、 該第1電極上に前記有機機能層を形成する工程と、 該有機機能層上に前記第2電極を形成する工程と、 該第2電極上に保護部材を形成する工程と、 該保護部材と重なる領域以外に形成された前記有機機能層を除去する工程と、を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。

IPC (4件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/04 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/26

FI (5件)：

H05B33/10 ,  H05B33/04 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/26 Z ,  H05B33/14 B

Fターム (19件)：

3K107AA01 ,  3K107CC21 ,  3K107CC45 ,  3K107DD21 ,  3K107DD26 ,  3K107DD38 ,  3K107DD44Z ,  3K107DD97 ,  3K107EE42 ,  3K107EE47 ,  3K107EE49 ,  3K107EE50 ,  3K107EE55 ,  3K107GG04 ,  3K107GG05 ,  3K107GG06 ,  3K107GG12 ,  3K107GG13 ,  3K107GG28

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-302995   出願人：カシオ計算機株式会社
• 有機EL発光装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-066220   出願人：出光興産株式会社