特許
J-GLOBAL ID：200903030352481035
物理量センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-020092
公開番号（公開出願番号）：特開平9-210723
出願日： 1996年02月06日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 基準パルス幅の大きい物理量センサを提供する。【解決手段】 円形変位電極26は円周方向に相隣接して配列される扇状電極21ないし24より成り、扇状電極はそれぞれ円形固定電極11との間にセンサ容量C1およびC2を形成し、径方向に配置されるセンサ容量対の扇状電極をセンサ容量電極A、Bとする差動容量センサを具備し、同一繰り返し周波数の位相差1/nπの波形φ1およびφ2を発生出力する位相差発振器77を具備し、一方のセンサ容量電極Aにインバータ81および抵抗素子R1を介して一方の波形φ1を印加すると共に他方のセンサ容量電極Bにインバータ82および抵抗素子R2を介して他方の波形φ2を印加し、センサ容量C1、C2と抵抗素子R1、R2の共通接続点を排他的論理和回路85の入力に接続する物理量センサ。
請求項（抜粋）：
一方の面に円形固定電極が形成される円形固定基板を有し、円形固定電極に対向する面に円形変位電極が形成されると共に他方の面に動作部材が形成される円形可撓性基板を有し、円形変位電極は円周方向に相隣接して配列される扇状電極より成り、これら扇状電極はそれぞれ円形固定電極との間にセンサ容量を形成しており、径方向に配置されるセンサ容量対の扇状電極をセンサ容量電極とする差動容量センサを具備し、同一繰り返し周波数の位相差π/nの波形を発生出力する位相差発振器を具備し、一方のセンサ容量のセンサ容量電極Aにインバータおよび抵抗素子を介して一方の波形を印加すると共に他方のセンサ容量のセンサ容量電極にインバータおよび抵抗素子を介して他方の波形を印加し、センサ容量と抵抗素子の共通接続点をそれぞれ排他的論理和回路の入力に接続することを特徴とする物理量センサ。
IPC (5件)：
G01D 5/24
, G01K 7/34
, G01L 1/14
, G01P 15/125
, G01R 27/26
G01D 5/24 C
, G01K 7/34
, G01L 1/14 A
, G01P 15/125
, G01R 27/26 C
, G01D 5/24 L
