液晶用ガラス基板の洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：河備健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-346864
公開番号（公開出願番号）：特開2002-143795
出願日： 2000年11月14日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：

【要約】【課題】インライン化が可能で、大面積処理や処理の高速化の出来る液晶用ガラス基板の洗浄方法の提供。【解決手段】大気圧近傍の圧力下で、酸素を4体積%以上含有する雰囲気中で、対向する一対の電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該一対の対向電極間にパルス化された電界を印加することにより発生させた放電プラズマを液晶用ガラス基板に接触させることを特徴とする液晶用ガラス基板の洗浄方法。

請求項（抜粋）：

大気圧近傍の圧力下で、酸素を4体積%以上含有する雰囲気中で、対向する一対の電極の少なくとも一方の対向面に固体誘電体を設置し、当該一対の対向電極間にパルス化された電界を印加することにより発生させた放電プラズマを液晶用ガラス基板に接触させることを特徴とする液晶用ガラス基板の洗浄方法。

IPC (3件)：

B08B 7/00 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

FI (3件)：

B08B 7/00 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500

Fターム (12件)：

2H088FA21 , 2H088FA24 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 2H090JC09 , 2H090JC19 , 3B116AA02 , 3B116AB14 , 3B116BB62 , 3B116BB89 , 3B116BC01 , 3B116CC05

引用特許：

審査官引用 (2件)

グロー放電プラズマ処理方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133716 出願人：積水化学工業株式会社
大気圧でのグロー放電プラズマによる表面洗浄装置および洗浄方法
公報種別：公表公報出願番号：特願平8-536771 出願人：ザ・ユニヴァーシティ・オヴ・テネシー・リサーチ・コーポレイション

前のページに戻る