特許
J-GLOBAL ID：200903030390666758
オートフォーカス方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-259446
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097271
出願日： 1994年09月29日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：
【要約】【目的】 ダイサーでオートフォーカスする場合に、光学手段による画像処理回数を減らしてオートフォーカスに要する作業時間を著しく短縮出来るようにした、オートフォーカス方法を提供する。【構成】 規格化された半導体ウェーハの厚さ情報をCPUに登録する工程と、ダイサー等の保持手段に保持されたウェーハを光学手段の直下に位置付けする工程と、前記ウェーハの厚さ情報に基づいて厚さバラツキの誤差範囲に達する位置まで光学手段の焦点を一気に移動する工程と、この誤差範囲内で精密にオートフォーカスを遂行する工程と、から構成される。
請求項（抜粋）：
規格化された半導体ウェーハの厚さ情報をCPUに登録する工程と、ダイサー等の保持手段に保持されたウェーハを光学手段の直下に位置付けする工程と、前記ウェーハの厚さ情報に基づいて厚さバラツキの誤差範囲に達する位置まで光学手段の焦点を一気に移動する工程と、この誤差範囲内で精密にオートフォーカスを遂行する工程と、から構成されるオートフォーカス方法。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01C 3/06
, G02B 7/28
, H01L 21/301
G02B 7/11 H
, H01L 21/78 C
