特許
J-GLOBAL ID:200903030403130968
静電容量型超音波振動子装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
大菅 義之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-289823
公開番号(公開出願番号):特開2007-097760
出願日: 2005年10月03日
公開日(公表日): 2007年04月19日
要約:
【課題】 本発明は、マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子と同一のシリコン基板上または内部に、直流高電圧発生手段を備えて、静電容量型超音波振動子装置の小型化を実現する。【解決手段】 半導体基板に形成されている静電容量型超音波振動子と、前記半導体基板に設けられ、前記静電容量型超音波振動子への駆動信号に重畳する直流高電圧信号を発生させるための直流高電圧発生手段と、を備えることを特徴とする静電容量型超音波振動子装置により、上記課題の解決を図る。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
半導体基板に形成されている静電容量型超音波振動子と、
前記半導体基板に設けられ、前記静電容量型超音波振動子への駆動信号に重畳する直流高電圧信号を発生させるための直流高電圧発生手段と、
を備えることを特徴とする静電容量型超音波振動子装置。
IPC (3件):
A61B 8/12
, H04R 19/00
, H04R 3/00
FI (3件):
A61B8/12
, H04R19/00 330
, H04R3/00 330
Fターム (11件):
4C601EE13
, 4C601GB02
, 4C601GB03
, 4C601GB41
, 4C601GB48
, 4C601HH01
, 4C601HH02
, 5D019AA25
, 5D019DD01
, 5D019EE06
, 5D019FF04
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (2件)
引用文献:
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