特許

J-GLOBAL ID：200903030403130968

静電容量型超音波振動子装置

発明者： 安達 日出夫 ,  若林 勝裕 ,  田宮 公成 ,  網倉 正明 ,  松本 一哉 ,  太田 亮 ,  長谷川 守 ,  伊藤 寛
出願人/特許権者： オリンパスメディカルシステムズ株式会社 ,  オリンパス株式会社
代理人 (1件)： 大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-289823
公開番号（公開出願番号）：特開2007-097760
出願日： 2005年10月03日
公開日（公表日）： 2007年04月19日
要約：

【課題】 本発明は、マイクロマシンプロセスを用いて製造される超音波振動子と同一のシリコン基板上または内部に、直流高電圧発生手段を備えて、静電容量型超音波振動子装置の小型化を実現する。【解決手段】 半導体基板に形成されている静電容量型超音波振動子と、前記半導体基板に設けられ、前記静電容量型超音波振動子への駆動信号に重畳する直流高電圧信号を発生させるための直流高電圧発生手段と、を備えることを特徴とする静電容量型超音波振動子装置により、上記課題の解決を図る。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

半導体基板に形成されている静電容量型超音波振動子と、 前記半導体基板に設けられ、前記静電容量型超音波振動子への駆動信号に重畳する直流高電圧信号を発生させるための直流高電圧発生手段と、 を備えることを特徴とする静電容量型超音波振動子装置。

IPC (3件)：

A61B 8/12 ,  H04R 19/00 ,  H04R 3/00

FI (3件)：

A61B8/12 ,  H04R19/00 330 ,  H04R3/00 330

Fターム (11件)：

4C601EE13 ,  4C601GB02 ,  4C601GB03 ,  4C601GB41 ,  4C601GB48 ,  4C601HH01 ,  4C601HH02 ,  5D019AA25 ,  5D019DD01 ,  5D019EE06 ,  5D019FF04

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 容量性マイクロマシン超音波振動子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-511146   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
• 硬化促進剤、エポキシ樹脂組成物および半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-158623   出願人：住友ベークライト株式会社
• 特公昭63-026341号公報
  
• 特許第3062313号公報
  
• 超微細加工超音波トランスデューサを用いたモザイク型アレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-061534   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

審査官引用 (2件)

• 容量性マイクロマシン超音波振動子
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-511146   出願人：コーニンクレッカフィリップスエレクトロニクスエヌヴィ
• 超微細加工超音波トランスデューサを用いたモザイク型アレイ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-061534   出願人：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ

引用文献：

出願人引用 (1件)

• Integrated Ultrasonic Imaging Systems Based on CMUT Arrays: Recent Progress

審査官引用 (1件)

• Integrated Ultrasonic Imaging Systems Based on CMUT Arrays: Recent Progress