特許
J-GLOBAL ID：200903030424487548

サンプルの検査方法及び装置

発明者：
ダビド ベルマン

ダビド ベルマン について

, 
アレックス ディコポルツェフ

アレックス ディコポルツェフ について


出願人/特許権者：
ジョーダン バリー アプライド レイディエイション リミティド

ジョーダン バリー アプライド レイディエイション リミティド について


代理人 (6件)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  倉地 保幸 ,  下道 晶久 ,  西山 雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-306239
公開番号（公開出願番号）：特開2005-140771
出願日： 2004年10月20日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：
【課題】 既知の反射特性を有する第1層と、第1層上に形成された第2層を有するサンプルの検査方法を提供する。【解決手段】 本方法は、サンプル表面へ放射線を向けること、表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するためにその表面で反射された放射線を検知することを含む。第1層からの放射線の反射による特徴は反射信号で同定される。同定された特徴と第1層の既知の反射特性とに対応して反射信号が較正される。その較正された反射信号は第2層の特性を決定するために分析される。他方で、向上された検査方法も同様に開示する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
既知の反射特性を有する第1層と、第1層上に形成された第2層を有するサンプルの検査方法であって、 サンプル表面に放射線を向けること、 前記表面に対する仰角の関数として反射信号を生成するために、前記表面で反射された放射線を検知すること、 前記第1層からの放射線反射による反射信号における特徴を同定すること、 同定された特徴と前記第1層の既知の反射特性とに応答可能なように反射信号を較正すること、 前記第2層の特性を決定するために較正された反射信号を分析すること、 を含む検査方法。
IPC (2件)：
G01N23/201 ,  H01L21/66
FI (2件)：
G01N23/201 ,  H01L21/66 N
Fターム (36件)：
2G001AA01 ,  2G001AA09 ,  2G001BA15 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001EA02 ,  2G001EA09 ,  2G001FA29 ,  2G001GA01 ,  2G001GA03 ,  2G001HA01 ,  2G001JA04 ,  2G001JA06 ,  2G001KA01 ,  2G001KA11 ,  2G001KA12 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001PA07 ,  2G001SA01 ,  2G001SA10 ,  4M106AA01 ,  4M106AA20 ,  4M106BA20 ,  4M106CB30 ,  4M106DH12 ,  4M106DH34 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  5F045AB31 ,  5F045DQ17 ,  5F045GB11 ,  5F045HA25
引用特許：
審査官引用 (4件)
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