多方向反射体を用いた6自由度運動の測定装置及びこれを応用したハードディスクドライブスライダーの6自由度運動の測定のためのスイングアーム光学系。

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-137108
公開番号（公開出願番号）：特開2002-022407
出願日： 2001年05月08日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
要約：

【要約】【課題】多方向反射体を用いた6自由度運動の測定装置及びこれを応用したHDDスライダーの6自由度運動の測定のためのスイングアーム光学系を提供する。【解決手段】 6自由度運動の測定装置は、測定対象物に備えられるものであって、入射されたレーザービームを3方向に反射させる3つの反射面を有する多方向反射体と、多方向反射体から反射されるレーザービームを受光する3つの位置検出器と、3つの位置検出器で検出されたレーザービームの強度分布の重心を用いて前記多方向反射体の6自由度を分析する制御部とを含む。これにより、3つの反射面を有する多方向反射体を用いて測定対象物の6自由度変位を容易でかつ精度よく測定し、高速運動の小さな測定対象物の変位を容易に測定可能とする。

請求項（抜粋）：

レーザー光源から放出されるレーザービームを用いて測定対象物の6自由度運動を測定する装置において、前記測定対象物に備えられた、前記レーザービームを少なくとも3方向に反射させる3つの反射面を含む多方向反射体と、前記多方向反射体から反射されるレーザービームを受光する3つの位置検出器と、前記3つの位置検出器で検出されたレーザービームの強度分布を用いて前記多方向反射体の6自由度を分析する制御部とを含むことを特徴とする6自由度運動の測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 , G01B 11/26 , G11B 5/60 , G11B 21/21

FI (5件)：

G01B 11/00 A , G01B 11/00 G , G01B 11/26 Z , G11B 5/60 Z , G11B 21/21 Z

Fターム (39件)：

2F065AA04 , 2F065AA06 , 2F065AA07 , 2F065AA09 , 2F065AA17 , 2F065AA22 , 2F065AA37 , 2F065AA39 , 2F065BB15 , 2F065BB16 , 2F065BB28 , 2F065CC00 , 2F065CC03 , 2F065DD02 , 2F065DD06 , 2F065FF23 , 2F065FF28 , 2F065FF39 , 2F065FF44 , 2F065FF55 , 2F065GG06 , 2F065GG12 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ16 , 2F065KK01 , 2F065LL12 , 2F065LL14 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065MM14 , 2F065PP22 , 2F065QQ03 , 5D042TA10 , 5D059CA30 , 5D059DA35 , 5D059EA02

引用特許：

審査官引用 (4件)

位置検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-152367 出願人：システム精工株式会社, シナノテクノロジー有限会社
磁気ヘッドの浮上特性計測方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-208664 出願人：日本電信電話株式会社
特開昭61-264203

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