特許
J-GLOBAL ID：200903030460364690
銀系薄膜合金
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
角田 芳末
, 伊藤 仁恭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-107317
公開番号（公開出願番号）：特開2008-266671
出願日： 2007年04月16日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：
【課題】反射率、耐食性、密着性、エレクトロマイグレーションに優れた銀系金属薄膜合金であり、厳しい環境あるいは長期的な信頼性が要求される分野においても応用が可能な銀系金属薄膜合金を提供する。【解決手段】Ag(1-x-y-z)PdxAuyHfzの化学組成を有し、かつ、x、y、zが0.03≦x≦0.10、0.02≦y≦0.07、0.03≦z≦0.08の範囲からなる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
Ag(1-x-y-z)PdxAuyHfzの化学組成を有し、
かつ、x、y、zが
0.03≦x≦0.10
0.02≦y≦0.07
0.03≦z≦0.08
の範囲からなる
ことを特徴とする銀系薄膜合金。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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