プロセス制御方法及びこれを用いたプロセス制御装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-223511
公開番号（公開出願番号）：特開2002-041108
出願日： 2000年07月25日
公開日（公表日）： 2002年02月08日
要約：

【要約】【課題】定常状態において分析値を用いて推定値を補正することが可能なプロセス制御方法及びこれを用いたプロセス制御装置を実現する。【解決手段】制御対象の挙動を表したモデルを有するプロセス制御方法において、制御対象の操作量と状態量とを用いてモデルに基づき制御量を推定した推定値及び目標値により制御対象を制御しておき、定常状態になった場合に分析値と推定値の差分を補正値として推定値に加算して推定値を補正する。また、プロセスとモデルのミスマッチにより生じた差分を可変パラメータの調整によりモデルに反映させる。

請求項（抜粋）：

制御対象の挙動を表したモデルを有するプロセス制御方法において、前記制御対象の操作量と状態量とを用いて前記モデルに基づき制御量を推定した推定値及び目標値により前記制御対象を制御しておき、定常状態になった場合に分析値と前記推定値の差分を補正値として前記推定値に加算して前記推定値を補正することを特徴とするプロセス制御方法。

Fターム (15件)：

5H004GA10 , 5H004GA12 , 5H004GA14 , 5H004GB02 , 5H004HA04 , 5H004HB04 , 5H004JB20 , 5H004KA33 , 5H004KA34 , 5H004KC24 , 5H004KC28 , 5H004LB05 , 5H004LB09 , 5H004LB10 , 5H004MA12

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-137717
特開昭58-109903
特開平4-014105

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