マイクロレンズアレイ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-004754
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209506
出願日： 1994年01月20日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】遮光膜を簡単に形成できるマイクロレンズアレイを提供する。【構成】透明な光学材料1の平坦な面に、凸曲面1Aもしくは凹曲面による屈折面がアレイ配列され、上記平坦な面の各屈折面を除く部分に遮光膜2が形成されたマイクロレンズアレイであって、遮光膜2が、フォトリソグラフィにより屈折面の配列パターンに応じて開口形成されたフォトレジストにより形成される。

請求項（抜粋）：

透明な光学材料の平坦な面に、凸曲面もしくは凹曲面による屈折面がアレイ配列され、上記平坦な面の各屈折面を除く部分に遮光膜が形成されたマイクロレンズアレイであって、上記遮光膜が、フォトリソグラフィにより屈折面の配列パターンに応じて開口形成されたフォトレジストにより形成されていることを特徴とするマイクロレンズアレイ。

引用特許：

審査官引用 (9件)

特開平3-181934
特開平4-129268
特開平1-257901

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