特許
J-GLOBAL ID：200903030568449942
多段照明による撮像画像の処理方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-064801
公開番号（公開出願番号）：特開平10-260140
出願日： 1997年03月18日
公開日（公表日）： 1998年09月29日
要約：
【要約】【課題】多段照明による撮像画像の劣化を抑制してその画像品質を好適に維持することのできる多段照明による撮像画像の処理方法及びその装置を提供する。【解決手段】多段照明L1〜L5により検査対象となる基板9のはんだフィレット11に高角度段から低角度段へ順次光照射を行いつつ、同はんだフィレット11を撮像デバイス3にて撮像し、画像処理デバイス4にてこれを画像データとして所要に処理する。コンピュータ5は、この画像データに基づいて乱反射の影響を除去するためのしきい値を求める。しかも、このしきい値は前回の照射角度によるしきい値に基づいて求められる。コンピュータ5は、このしきい値をもとに画像データから乱反射の影響を除去し、この乱反射の影響を除去された画像データに基づいて、はんだフィレット11の外観を評価する。
請求項（抜粋）：
多段照明により検査対象物に順次光照射を行いつつ同検査対象物を撮像し、それら撮像画像に基づいて当該検査対象物の外観を評価すべく同撮像画像を処理する方法であって、前記各撮像画像に対する所定のしきい値の設定のもとにそれら撮像画像から各段照射光の乱反射に起因するノイズ成分を除去する工程を含むことを特徴とする多段照明による撮像画像の処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 F
, G01B 11/24 K
