特許
J-GLOBAL ID:200903030593408550

圧電振動子およびこれを用いた振動型ジャイロスコープ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野▲崎▼ 照夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-223417
公開番号(公開出願番号):特開平9-068434
出願日: 1995年08月31日
公開日(公表日): 1997年03月11日
要約:
【要約】【課題】 圧電材料により形成された振動体に分極を施す際、表面にのみ分極を形成していると、曲げ振動させる際に中立面に対するモーメントが小さくなり、低電力で大振幅駆動することが困難である。【解決手段】 圧電材料で形成された3脚の各振動子本体11、12、11に分極を施す際、図1(A)に示すように、表裏面11a、11b、12a、12b内に並ぶ電極間に電界を与えるのみならず、Y方向に対向する電極15aと16a、15cと16c、17aと18a、17cと18cの間にも電圧を印加する。その結果、表面のみならずY方向へも誘電分極が形成される。図1(B)(C)に示すように各電極に交流駆動電圧を与えて、振動子本体11、12をX方向へ駆動するが、Y方向への誘電分極部分の歪みにより、振動子本体11と12は大きな振幅でX方向へ振動駆動されるようになる。
請求項(抜粋):
圧電材料により形成された振動子本体と、この振動子本体の互いに平行な表裏両面に形成された電極とを有し、前記電極に与えられる交流電力により振動子本体が前記電極が形成された面に沿う方向へ振動させられる圧電振動子において、前記振動子本体では、同じ面に形成された電極の間で分極が施されているとともに、表面の電極と裏面の電極との間にも分極が施されていることを特徴とする圧電振動子。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
引用特許:
審査官引用 (7件)
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