特許
J-GLOBAL ID：200903030599926412
圧力センサ及び静電容量型圧力センサチップ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-308805
公開番号（公開出願番号）：特開平10-148593
出願日： 1996年11月20日
公開日（公表日）： 1998年06月02日
要約：
【要約】【課題】圧力変化に対して連続出力を出力し、小型で低価格で高精度の圧力センサを提供し、更に、耐熱性の優れた圧力センサを提供する。【解決手段】プラスチック製のケース11の一部に肉厚部11e を形成し、ここにセンサチップ6を直付けする。センサチップ6の外周部のケースには溝11d を設ける。また、肉厚部11e と導圧パイプ11b とをポリイミドなどの耐熱性材料で一体に作成し、その他のケース部を通常の耐熱樹脂で作成し、両者を一体化してケースとする。更には、シリコンの上面から静電ギャップのための浅彫りエッチングをし、下面から肉薄部を形成するための深彫りエッチングをして可動電極をつくり、そのシリコンの上面に、固定電極を下面に有するガラスを接合して静電容量型圧力センサチップを作成する。また、このセンサチップの固定電極を引き出すためのスルーホールはシリコンの可動部より外側に設ける。
請求項（抜粋）：
圧力センサチップと、その出力を演算処理する演算回路や特性を調整する調整用抵抗などを搭載した回路部材と、内面の一部に圧力センサチップを搭載し、内面の他の部分に回路部材を搭載し、圧力センサチップを搭載した部分の外側に測定圧力を導入する導圧パイプを有するケースとを備えた圧力センサにおいて、圧力センサチップを搭載するケースの部分がその他の部分より肉厚であり、この肉厚部に圧力センサチップが直付けされていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 19/00 101
, G01L 9/12
, G01L 19/14
G01L 19/00 101
, G01L 9/12
, G01L 19/14
