特許

J-GLOBAL ID：200903030613951522

重ね合わせ測定装置および方法

発明者： 青木 洋
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-192828
公開番号（公開出願番号）：特開2005-030776
出願日： 2003年07月07日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：

【課題】基板上の複数の測定点の中にエッジ部の信号波形が非対称となるものが存在しても、精度よく測定値(複数の重ね合わせずれ量の集合)を取得可能な重ね合わせ測定装置および方法を提供する。【解決手段】基板の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像のうち、第1マークに関わる部分の代表波形と反転波形との相関関数における最大相関値MAを算出すると共に、第2マークに関わる部分の代表波形と反転波形との相関関数における最大相関値MBを算出し(S2〜S6)、最大相関値MA,MBを予め定めた閾値と比較し(S8)、最大相関値MA,MBが閾値より大きいときに、最大相関値MA,MBに基づいて、第1マークと第2マークとの重ね合わせずれ量を算出する(S7,S9)。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

基板の異なる層に形成された第1マークと第2マークの画像を取り込む画像取込手段と、 前記画像のうち前記第1マークに関わる部分の第1信号波形と該波形を折り返して生成した波形との相関関数における最大相関値を算出すると共に、前記画像のうち前記第2マークに関わる部分の第2信号波形と該波形を折り返して生成した波形との相関関数における最大相関値を算出する相関演算手段と、 前記相関演算手段が前記第1信号波形から算出した最大相関値と前記第2信号波形から算出した最大相関値との少なくとも一方を予め定めた閾値と比較する比較手段と、 前記比較手段による比較対象の最大相関値が前記閾値より大きいときに、前記相関演算手段が前記第1信号波形から算出した最大相関値と前記第2信号波形から算出した最大相関値とに基づいて、前記第1マークと前記第2マークとの重ね合わせずれ量を算出する算出手段とを備えた ことを特徴とする重ね合わせ測定装置。

IPC (3件)：

G01B11/00 ,  G03F9/00 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G01B11/00 H ,  G03F9/00 H ,  H01L21/30 502V ,  H01L21/30 520C

Fターム (25件)：

2F065AA07 ,  2F065AA15 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB28 ,  2F065CC19 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ41 ,  5F046EA04 ,  5F046EB01 ,  5F046FA10 ,  5F046FC03 ,  5F046FC04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置計測装置及びアライメント方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-391697   出願人：株式会社ニコン
• 重ね合わせ測定方法及び重ね合わせ測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-259036   出願人：セイコーエプソン株式会社