特許

J-GLOBAL ID：200903030648499029

リボン状イオンビームの成形技術

発明者： ラドバノフ、スヴェトラーナ、ビー. ,  ケラーマン、ピーター エル. ,  バンヴェニスト、ビクター エム. ,  リンドバーグ、ロバート、シー. ,  パーサー、ケニス、エイチ. ,  ロックウェル、テイラー、ビー. ,  バフ、ジェイムズ、エス. ,  ルノー、アンソニー
出願人/特許権者： バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド
代理人 (5件)： 龍華 明裕 ,  飯山 和俊 ,  明石 英也 ,  東山 忠義 ,  林 茂則
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-540289
公開番号（公開出願番号）：特表2009-516334
出願日： 2006年11月15日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：

リボン状イオンビームを成形する技術が開示される。1つの特定の例示的実施形態では、技術は、リボン状イオンビームを成形する装置として実現し得る。装置は、リボン状イオンビームが通過する実質的に矩形のアパーチャを有する静電レンズを含み得る。アパーチャの短いほうの辺部に沿って複数の集束要素が位置決めされ、各集束要素が個別にバイアスされて向きを定められることにより、リボン状イオンビームを成形する。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

リボン状イオンビームを成形する装置であって、 リボン状イオンビームが通過する実質的に矩形のアパーチャを有する静電レンズを含み、前記アパーチャの短いほうの辺部に沿って複数の集束要素が配置され、各集束要素が個別にバイアスされて向きを定められることにより、前記リボン状イオンビームが成形される、装置。

IPC (3件)：

H01J 37/317 ,  H01J 37/12 ,  H01L 21/265

FI (3件)：

H01J37/317 Z ,  H01J37/12 ,  H01L21/265 603B

Fターム (3件)：

5C033CC04 ,  5C034CC03 ,  5C034CC17

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 静電3極レンズ、イオン注入装置及びイオンビームの集束方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-120357   出願人：イートンコーポレーション
• 特開平4-006740
  
• 低ビーム発散となる,低エネルギービームの抽出および減速
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-544749   出願人：バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド, ケーツー・ケラー・コンサルティング・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー

審査官引用 (5件)

• 静電3極レンズ、イオン注入装置及びイオンビームの集束方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-120357   出願人：イートンコーポレーション
• 特開平4-006740
  
• 特開平4-006740
  
• 特開平4-006740
  
• 低ビーム発散となる,低エネルギービームの抽出および減速
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2002-544749   出願人：バリアン・セミコンダクター・エクイップメント・アソシエイツ・インコーポレイテッド, ケーツー・ケラー・コンサルティング・リミテッド・ライアビリティー・カンパニー