特許
J-GLOBAL ID:200903030753555147
加熱装置とその製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
鈴江 武彦
, 村松 貞男
, 坪井 淳
, 橋本 良郎
, 河野 哲
, 中村 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-331955
公開番号(公開出願番号):特開2004-165085
出願日: 2002年11月15日
公開日(公表日): 2004年06月10日
要約:
【課題】アルミニウム製ヒータプレートの温度測定の精度を向上できる加熱装置を提供する。【解決手段】発熱体12を備えたアルミニウム製のヒータプレート13と、ヒータプレート13の温度を測定するためのシース熱電対14とを備えた加熱装置11であって、シース25がアルミニウム製である。シース25の先端部26は端壁30によって閉じている。先端部26の端面26aが機械加工によって平坦に仕上げられている。ヒータプレート13は、第1プレート部材21と第2プレート部材22とを含んでいる。第1プレート部材21にシース取付穴40が形成されている。第1プレート部材21と第2プレート部材22がろう付けされ、かつ、シース25の端面26aと第2プレート22とがろう付けされている。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
内部に発熱体を備えたアルミニウム製のヒータプレートと、
前記ヒータプレートの温度を測定するための測温部および該測温部を覆うシースを有しかつ先端部が閉じているシース熱電対とを有し、
前記シースがアルミニウム製であり、
該シースの先端部が前記ヒータプレートに形成されたシース取付穴に挿入されかつ前記ヒータプレートに接合されていることを特徴とする加熱装置。
IPC (6件):
H05B3/00
, G01K1/14
, G01K7/02
, H01L21/027
, H05B3/20
, H05B3/72
FI (6件):
H05B3/00 365C
, G01K1/14 L
, G01K7/02 C
, H05B3/20 330
, H05B3/72
, H01L21/30 567
Fターム (30件):
2F056CL01
, 3K034AA02
, 3K034AA16
, 3K034AA22
, 3K034BB02
, 3K034BB11
, 3K034BC16
, 3K034DA04
, 3K034DA08
, 3K034GA02
, 3K034HA01
, 3K034HA10
, 3K034JA10
, 3K058AA42
, 3K058AA73
, 3K058BA00
, 3K058CA23
, 3K058CA52
, 3K058CA93
, 3K058CE19
, 3K092PP20
, 3K092QA05
, 3K092RF03
, 3K092RF09
, 3K092RF26
, 3K092SS12
, 3K092UA05
, 3K092UA18
, 3K092VV03
, 5F046KA04
引用特許:
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