特許
J-GLOBAL ID：200903030774804155

金属部材、DLC膜の製造装置、及び金属部材の製造方法

発明者：
植草 新一郎

植草 新一郎 について

, 
村田 良美

村田 良美 について


出願人/特許権者：
学校法人明治大学

学校法人明治大学 について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  棚井 澄雄 ,  高橋 詔男 ,  五十嵐 光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-024443
公開番号（公開出願番号）：特開2009-184859
出願日： 2008年02月04日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】硬度に優れた領域と潤滑性に優れた領域とを同一平面内に局在させて併せ持つことが可能なDLC膜を備えた金属部材を提供すること。【解決手段】少なくとも鉄を含む金属基材11上にDLC膜12を配してなる金属部材10であって、DLC膜12は、ラマンスペクトルにおいて、波数が1550〜1600[cm-1]の範囲に観測されるグラファイトに起因したピークを有し、前記ピークの強度が膜面内に複数異なって混在し、前記ピークの強度の最大と最小の差が1桁以上であること。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも鉄を含む金属基材上にDLC膜を配してなる金属部材であって、 前記DLC膜は、ラマンスペクトルにおいて、波数が1550〜1600[cm-1]の範囲に観測されるグラファイトに起因したピークを有し、前記ピークの強度が膜面内に複数異なって混在し、前記ピークの強度の最大と最小の差が1桁以上であることを特徴とする金属部材。
IPC (5件)：
C30B 29/04 ,  C01B 31/02 ,  C23C 16/27 ,  C23C 16/44 ,  B01J 23/30
FI (5件)：
C30B29/04 N ,  C01B31/02 101Z ,  C23C16/27 ,  C23C16/44 A ,  B01J23/30 M
Fターム (49件)：
4G077AA03 ,  4G077AB08 ,  4G077BA03 ,  4G077DB01 ,  4G077DB15 ,  4G077ED06 ,  4G077EG16 ,  4G077HA13 ,  4G077TA04 ,  4G077TA11 ,  4G077TB01 ,  4G077TE05 ,  4G077TK01 ,  4G146AA05 ,  4G146AB07 ,  4G146AC15B ,  4G146AC16A ,  4G146AC23B ,  4G146AD16 ,  4G146AD26 ,  4G146AD36 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BC09 ,  4G146BC11 ,  4G146BC25 ,  4G146BC28 ,  4G146BC33B ,  4G146BC42 ,  4G146BC43 ,  4G146DA03 ,  4G146DA32 ,  4G146DA36 ,  4G146DA47 ,  4G169AA02 ,  4G169AA11 ,  4G169BB02B ,  4G169BC60B ,  4G169CB81 ,  4G169DA05 ,  4G169EA03Y ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030BB05 ,  4K030CA02 ,  4K030FA17 ,  4K030LA02 ,  4K030LA22
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (3件)
  • 炭素材料
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-337598   出願人：花王株式会社
  • 硬質炭素膜
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-262445   出願人：住友電気工業株式会社
  • 特開平3-150296
引用文献：
審査官引用 (1件)

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