特許
J-GLOBAL ID:200903030791638234

表面形状測定方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-242426
公開番号(公開出願番号):特開平10-089939
出願日: 1996年09月13日
公開日(公表日): 1998年04月10日
要約:
【要約】【課題】 走行する薄鋼板表面上に加工される微小溝の形状をオンラインで高精度に測定する。【解決手段】 物体表面上の凹凸の立ち下がり点Cもしくは立ち上がり点を検出し、凹凸の大まかな位置を検出した後、物体表面近傍に閾値Gを設定し、検出した凹凸の立ち下がり点Cもしくは立ち上がり点から出発し、その両側で設定閾値Gを越える位置を凹凸のエッジH、Jとして検出する。
請求項(抜粋):
物体表面上の凹凸の形状を測定する方法において、物体表面に対して凹凸の幅方向へ相対的に移動するように配置した変位計と物体の間の変位量を測定することにより凹凸の断面形状を取得し、取得した断面形状から凹凸立ち下がり点もしくは立ち上がり点を検出し、検出した凹凸立ち下がり点もしくは立ち上がり点から出発し、物体表面近傍に設定した閾値を越える位置を凹凸のエッジとして検出し、検出した凹凸のエッジから凹凸の幅を計算し、更に物体表面からの凹凸深さもしくは高さを算出することを特徴とする表面形状測定方法。
IPC (4件):
G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/02 ,  G01B 11/22
FI (4件):
G01B 11/30 E ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/02 Z ,  G01B 11/22 Z
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 寸法測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-025173   出願人:東芝エフエーシステムエンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
  • 木材の加工検査装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-185288   出願人:松下電工株式会社

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