光導波路素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249700
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147444
出願日： 1999年09月03日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】光導波路デバイスのインピーダンス整合を図り、前記光導波路デバイスの高周波損失を低減する。【解決手段】相対向する一対の主面を具え、電気光学効果を有する基板1と、この基板1の一方の主面1Aに形成された光導波路2と、この光導波路2を導波する光波に変調信号を印加するための電極3とを具えた光導波路素子であって、前記電極3が位置する部分に薄肉部分5を形成するとともに、基板1と電極3との間にバッファ層6を形成し、前記薄肉部分5の厚さを調節することにより、電極3に印加された変調信号とインピーダンス整合をとる。

請求項（抜粋）：

相対向する一対の主面を具え、電気光学効果を有する基板と、この基板の一方の主面に形成された光導波路と、この光導波路を導波する光波に変調信号を印加するための電極とを具えた光導波路素子であって、前記基板の少なくとも前記電極が位置する部分に相対的に厚さが小さい薄肉部分を形成するとともに、前記基板と前記電極との間にバッファ層を形成し、前記薄肉部分の厚さを調節することにより、前記電極に印加された変調信号とのインピーダンス整合をとるようにしたことを特徴とする光導波路素子。

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開昭63-234219
広帯域光変調素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-013672 出願人：松下電器産業株式会社
光制御デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-065325 出願人：日本電信電話株式会社

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引用文献：

審査官引用 (1件)

A Wide-Band Ti:LiNbO3 Optical Modulator with a Conventional Coplanar Waveguide Type Electrode

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