特許

J-GLOBAL ID：200903030879460745

ガスセンサおよびガス検出装置

発明者： 飯田 昌盛 ,  秋葉 幸男 ,  李 成奇 ,  木村 徹男 ,  田中 征一 ,  橋本 隆吉 ,  高橋 成政 ,  石川 智弥
出願人/特許権者： 学校法人東海大学 ,  ニッタン株式会社
代理人 (1件)： 植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-094780
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257736
出願日： 1996年03月25日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【目的】 複数種類の特定のガスを互いに識別可能に検出することの可能なガスセンサを提供する。【構成】 このガスセンサGAは、所定の基板1上に水素終端ダイヤモンド膜2が形成され、特定のガスに対して水素終端ダイヤモンド膜2の所定の特性値(例えば抵抗値)が変化することを用いて、特定のガスを検出可能になっている。ここで、特定のガスは、例えばNOxガスまたはNH3ガスである。

請求項（抜粋）：

所定の基板上に水素終端ダイヤモンド膜が形成され、特定のガスに対して水素終端ダイヤモンド膜の所定の特性値が変化することを用いて、前記特定のガスを検出可能になっていることを特徴とするガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体式ガスセンサー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-196829   出願人：三井鉱山株式会社
• 半導体式ガスセンサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-356504   出願人：三井鉱山株式会社