特許
J-GLOBAL ID：200903030889320283
プラズマイグナイタ及びこれを搭載した装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-235707
公開番号（公開出願番号）：特開2006-054129
出願日： 2004年08月13日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】気体電離を促進する高いエネルギーを持つ電子を気体中に照射し、放電装置の放電開始電圧を低下させるとともに、空間的に均一な放電を発生させるプラズマイグナイタ及びこれを搭載した装置の提供。【解決手段】プラズマイグナイタ3は、ホットエレクトロン、準弾道電子、又は弾道電子を生成する半導体もしくは導電性基板4上に形成された電子ドリフト層5と、電子ドリフト層5上に形成された表面電極6とからなり、大気圧プラズマ処理装置に搭載する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ホットエレクトロン、準弾道電子、又は弾道電子を生成する電子ドリフト層と、
該電子ドリフト層上に形成された表面電極と
を有することを特徴とするプラズマイグナイタ。
IPC (5件)：
H05H 1/24
, C23C 16/50
, H05B 41/04
, H05H 1/46
, H01J 1/312
H05H1/24
, C23C16/50
, H05B41/04 Z
, H05H1/46 A
, H01J1/30 M
4K030FA01
, 4K030JA09
, 4K030KA30
, 4K030KA45
, 5C135DD07
, 5C135DD09
, 5C135EE20
, 5C135HH03
, 5C135HH06
, 5C135HH07
