特許

J-GLOBAL ID：200903030960775777

カップホイ-ル型砥石およびそれを具備した平面研削装置

発明者： 小林 一雄 ,  関田 三郎 ,  柏 守幸
出願人/特許権者： 株式会社岡本工作機械製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-287363
公開番号（公開出願番号）：特開2000-094342
出願日： 1998年09月25日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 平面研削装置で基板を研削する際、研削液の流通をよくするとともに、研削屑を砥石内から速く砥石外へ排出する。【解決手段】 カップホイ-ル型砥石50のカップ状台金53は底壁52の外面に周壁51と同心に設けられた環状溝56と当溝内に供給される研削液を周壁の内側へ導入するために該環状溝の底面から底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入孔57を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定された環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分において周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かって30〜60度傾斜した研削液排出用スリット58が多数等間隔に設けられている。

請求項（抜粋）：

環状の周壁と、その一端に設けられた底壁とを備えたカップ状台金の前記周壁の底壁とは反対面の上面に環状砥石を固定したカップホイ-ル型砥石であって、前記台金は底壁の外面に周壁と同心に設けられた環状溝(a)と該環状溝内に供給される研削液を周壁の内側へ導入するために該環状溝の底面から前記底壁を貫通して設けられ、該周壁の他端側へ向かう程度外周側へ傾斜して、かつ、周壁に同心に多数等間隔に設けられた研削液導入孔(b)を有し、底壁とは反対面の周壁の上面に固定された環状の砥石は周壁の頂面より突出している部分において周壁および環状溝が共有する軸心と該軸心に直交する環状砥石の起立面に対し、軸心側から砥石外側に向かって30〜60度傾斜した研削液排出用スリット(c)が多数等間隔に設けられていることを特徴とする、平面研削装置用カップホイ-ル型砥石。

IPC (3件)：

B24D 7/10 ,  B24B 55/02 ,  B24D 7/00

FI (4件)：

B24D 7/10 ,  B24B 55/02 B ,  B24D 7/00 Z ,  B24D 7/00 P

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体基板加工用砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-107660   出願人：日本インター株式会社
• カップ状砥石
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-130039   出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド