特許

J-GLOBAL ID：200903030963158140

多元化合物作製装置

発明者： 長田 貴弘 ,  知京 豊裕 ,  南風盛 将光
出願人/特許権者： 独立行政法人物質・材料研究機構
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-139667
公開番号（公開出願番号）：特開2009-287069
出願日： 2008年05月28日
公開日（公表日）： 2009年12月10日
要約：

【課題】 本発明は、このような実情に鑑み、従来より高精度の組成比変化にて、多元化合物を一度の蒸着にて生成できる装置を提供することを目的とする。【解決手段】 発明1の多元化合物作製装置は、一つの蒸着室内に、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発機構と、前記材料蒸発機構からの蒸気により蒸着される基材を保持する基材保持部と、この基材保持部と前記材料蒸発機構との間に配置した蒸気通過用開口部を持つマスクと、このマスクを前記基材の蒸着面に沿って移動させるマスク移動機構とを有する多元化合物作製装置であって、前記マスクと基材に蒸着面との間隔を調整する間隔調整手段が設けてあることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一つの蒸着室内に、蒸着材料を蒸発させる材料蒸発機構と、前記材料蒸発機構からの蒸気により蒸着される基材を保持する基材保持部と、この基材保持部と前記材料蒸発機構との間に配置した蒸気通過用開口部を持つマスクと、このマスクを前記基材の蒸着面に沿って移動させるマスク移動機構とを有する多元化合物作製装置であって、前記マスクと基材の蒸着面との間隔を調整する間隔調整手段が設けてあることを特徴とする多元化合物作製装置。

IPC (5件)：

C23C 14/54 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/56 ,  C23C 14/04 ,  H01L 21/285

FI (5件)：

C23C14/54 G ,  C23C14/24 G ,  C23C14/56 J ,  C23C14/04 A ,  H01L21/285 S

Fターム (16件)：

4K029BA08 ,  4K029BA13 ,  4K029BA21 ,  4K029BA22 ,  4K029CA05 ,  4K029DB03 ,  4K029DB14 ,  4K029DC03 ,  4K029DC16 ,  4K029EA00 ,  4K029EA07 ,  4K029HA01 ,  4K029HA03 ,  4M104BB06 ,  4M104DD37 ,  4M104DD39

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 多元化合物作製装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-084318   出願人：独立行政法人物質・材料研究機構