特許
J-GLOBAL ID：200903031030165037

反射屈折光学系および該光学系を備える投影露光装置

発明者：
大村 泰弘

大村 泰弘 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 亀谷 美明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-308754
公開番号（公開出願番号）：特開2003-114387
出願日： 2001年10月04日
公開日（公表日）： 2003年04月18日
要約：
【要約】【課題】 大径のフィールドレンズを用いることなく,極紫外領域においても良好に収差補正され高解像力を有する反射屈折光学系および該光学系を備える投影露光装置を提供すること。【解決手段】 反射屈折光学系は,第1光学系100と,フィールドミラー対200と,第2光学系300とを有する。第1光学系100は,レンズ群G1,G2と,凹面ミラーM1と,光路分離用のミラーM2とを有し,中間像を形成する。フィールドミラー対200は,少なくとも1組のフィールドミラー対からなり,レチクルRと凹面ミラーM1との間の空間に配置されて第2光学系300へ光を反射する凹面ミラーM4を有する。第2光学系300は,レンズ群G3を有し,中間像からの光に基づいてレチクルRの像をウエハW上に形成する。
請求項（抜粋）：
第1面の像を第2面上に形成する反射屈折光学系であって,少なくとも1つの凹面ミラーと,少なくとも1つの光路分離用のミラーとを備え,前記第1面の中間像を形成する第1光学系と;前記中間像からの光に基づいて前記第1面の像を前記第2面上に形成する第2光学系と;前記第1面と前記凹面ミラーのうちの1つとの間の空間に配置されて前記第2光学系へ光を反射する凹面形状のミラーを有するフィールドミラー対と;を備えることを特徴とする反射屈折光学系。
IPC (3件)：
G02B 17/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (14件)：
2H087KA21 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087RA05 ,  2H087RA12 ,  2H087RA13 ,  2H087RA32 ,  2H087TA01 ,  2H087TA02 ,  2H087UA04 ,  2H087UA09 ,  5F046BA03 ,  5F046CB03 ,  5F046CB12
引用特許：
審査官引用 (3件)

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