特許
J-GLOBAL ID：200903031063431034

光センサ及びその検査方法

発明者：
近江 俊彦

近江 俊彦 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-124854
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319697
出願日： 2001年04月23日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：
【要約】【課題】 画素ごとの感度のばらつきを抑えた光センサの提供。【解決手段】 半導体受光素子からなる光センサにおいて、前記光センサのスクライブに、半導体基板と異なる極性の不純物を拡散した領域があることを特徴とする光センサである。前記半導体基板と異なる極性の不純物を拡散した領域の電位をフローティングとすることで、半導体基板と異なる極性の不純物を拡散した領域と半導体基板で構成するPN接合に、スクライブに入射した光により発生する電荷を効率良く蓄積することができる。このため、スクライブに入射した光により発生する電荷が光センサの画素を構成するPN接合に至ることはない。
請求項（抜粋）：
半導体受光素子からなる光センサにおいて、前記光センサのスクライブに、半導体基板と異なる極性の不純物を拡散した領域を有することを特徴とする光センサ。
IPC (4件)：
H01L 31/10 ,  H01L 27/146 ,  H01L 27/148 ,  H04N 5/335
FI (4件)：
H04N 5/335 ,  H01L 31/10 A ,  H01L 27/14 A ,  H01L 27/14 B
Fターム (17件)：
4M118AA05 ,  4M118AA09 ,  4M118AB01 ,  4M118BA06 ,  4M118CA02 ,  4M118EA11 ,  5C024CX03 ,  5C024CY44 ,  5C024CY47 ,  5C024GY01 ,  5C024GY31 ,  5F049NA08 ,  5F049NB03 ,  5F049NB05 ,  5F049NB08 ,  5F049PA09 ,  5F049PA17
引用特許：
審査官引用 (4件)
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