特許

J-GLOBAL ID：200903031079017971

表面検査方法及び表面検査装置

発明者： 宮川 一宏 ,  岩 陽一郎
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-100144
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273879
出願日： 2006年03月31日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：

【課題】 簡単な構成で広いダイナミックレンジを有し、検査面自体の散乱光が多い場合でも、高いS/N比で表面検査が可能な表面検査方法及び表面検査装置を提供する。 【解決手段】 検査面4にレーザ光線7を照射、走査して前記検査面の異物等を検出する表面検査方法に於いて、前記レーザ光線の照射部位を所要数の検出領域に分け、各検出領域間で検出光強度が変化する様に受光器で受光し、検査部位について検出光強度の異なる所要数の出力信号を取得し、所要数の出力信号の内、飽和していない最大値を示す出力信号を表面検査信号として選択する。 【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

検査面にレーザ光線を照射、走査して前記検査面の異物等を検出する表面検査方法に於いて、前記レーザ光線の照射部位を所要数の検出領域に分け、各検出領域間で検出光強度が変化する様に受光器で受光し、検査部位について検出光強度の異なる所要数の出力信号を取得し、所要数の出力信号の内、飽和していない最大値を示す出力信号を表面検査信号として選択することを特徴とする表面検査方法。

IPC (3件)：

H01L 21/66 ,  G01N 21/956 ,  G01B 11/30

FI (3件)：

H01L21/66 J ,  G01N21/956 A ,  G01B11/30 A

Fターム (37件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065FF41 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL21 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065NN01 ,  2F065NN11 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ23 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BB01 ,  2G051CA01 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  4M106AA01 ,  4M106BA05 ,  4M106CA41 ,  4M106DB02 ,  4M106DB08 ,  4M106DB15 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 表面検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-015576   出願人：株式会社トプコン
• 異常を発見するために試料を光学的に検査する装置および方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2003-572074   出願人：ケーエルエー-テンカーテクノロジィースコーポレイション