表面検査装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三好祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-015576
公開番号（公開出願番号）：特開2004-271519
出願日： 2004年01月23日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】レーザ光線を基板表面に照射して、基板表面の異物等を検出する表面検査装置に於いて、検出精度の向上を図ると共に検出時間の短縮を図るものである。【解決手段】基板2表面にレーザ光線を照射、走査して基板表面の異物等を検出する表面検査装置に於いて、複数のレーザ光線16を射出する光源部15と、基板の照射部位に複数のレーザ光線が走査方向と交差する方向に列を形成する様レーザ光線を集光させる照射光学系11,12,13とを具備した。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板表面にレーザ光線を照射、走査して基板表面の異物等を検出する表面検査装置に於いて、複数のレーザ光線を射出する光源部と、基板の照射部位に複数のレーザ光線が走査方向と交差する方向に列を形成する様レーザ光線を集光させる照射光学系とを具備したことを特徴とする表面検査装置。

IPC (3件)：

G01N21/956 , G01B11/30 , H01L21/66

FI (3件)：

G01N21/956 A , G01B11/30 A , H01L21/66 J

Fターム (36件)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065CC19 , 2F065DD06 , 2F065FF44 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH12 , 2F065JJ05 , 2F065JJ08 , 2F065JJ17 , 2F065LL02 , 2F065LL03 , 2F065LL10 , 2F065LL12 , 2F065MM03 , 2F065MM04 , 2F065PP12 , 2F065QQ42 , 2F065UU01 , 2G051AA51 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BA10 , 2G051CA01 , 2G051CB01 , 2G051CB05 , 2G051DA08 , 4M106AA01 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 4M106CA41 , 4M106DB08 , 4M106DB12 , 4M106DB16

引用特許：

出願人引用 (1件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-370638 出願人：株式会社トプコン

審査官引用 (7件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-034390 出願人：株式会社東芝
透明容器内における散乱された汚れを検出するための装置
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-542400 出願人：ホイフトジュステームテヒニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
表面欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-186799 出願人：株式会社リコー

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