インクジェット式記録ヘッド用ノズルプレート、これの製造方法、及びインクジェット式記録ヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：木村勝彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-190102
公開番号（公開出願番号）：特開平10-067115
出願日： 1996年07月01日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】【課題】シリコン単結晶基板の厚みに関わりなくノズル開口を一定ピッチで配列すること。【解決手段】インクリザーバからインク供給口を介してインクの供給を受け、加圧手段によりインクが加圧されるインクキャビティに連通し、インクを液滴として吐出させる複数のノズルを備えたノズルプレートにおいて、格子面(110)の面方位を有するシリコン単結晶基板からなるノズルプレートに、ノズル開口配列方向には面(1-11)10、面(-11-1)11を有し、かつインクキャビティの軸方向には面(111)12、面(11-1)13を有する貫通孔からなるノズル開口7を異方性エッチングにより形成することにより、基板に対して垂直な面(1-11)、面(-11-1)がノズル開口の配列方向に位置し、エッチング時間に関わりなく、一定幅の貫通孔となる。

請求項（抜粋）：

インクリザーバからインク供給口を介してインクの供給を受け、加圧手段によりインクが加圧されるインクキャビティに連通し、前記インクを液滴として吐出させる複数のノズルを備えたノズルプレートにおいて、格子面(110)の面方位を有するシリコン単結晶基板に、ノズル開口配列方向には面(1-11)、面(-11-1)を有し、かつ前記インクキャビティの軸方向には面(111)、面(11-1)を有する貫通孔からなるノズル開口を異方性エッチングにより形成してなるインクジェット式記録ヘッド用ノズルプレート。

IPC (4件)：

B41J 2/135 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 21/306

FI (3件)：

B41J 3/04 103 N , B41J 3/04 103 A , H01L 21/306 R

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-125159
特開平4-312853
特開昭54-150127

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