切削装置のブレードカバー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐々木功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-195623
公開番号（公開出願番号）：特開平11-034039
出願日： 1997年07月22日
公開日（公表日）： 1999年02月09日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削装置の切削手段に配設される回転ブレードの周囲に設けるブレードカバーにおいて、回転ブレード、回転ブレードの状態を監視するブレード検出手段の着脱を容易にして、回転ブレードの交換及びブレード検出手段の清掃の作業を容易にし、作業時間の短縮化を図る。【解決手段】回転ブレードを装着するスピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングの先端に装着するブレードカバー本体と、ブレードカバー本体との間で回転ブレードを挟むようにして前部側から切削水を供給する前部切削水供給ノズル体と、ブレードカバー本体の上部側に配設してブレードの破損等の状態を監視するブレード検出手段とから構成されるブレードカバーにおいて、前部切削水供給ノズル体とブレード検出手段とが連動することによって、回転ブレードの外周より外側に前部切削水供給ノズル体及びブレード検出手段を同時に待避させることができる切削装置のブレードカバーを提供する。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とを含む切削装置において、前記切削手段は、回転ブレードが装着されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するスピンドルハウジングとを含み、該スピンドルハウジングには、前記回転ブレードに後部側から切削水を供給する後部切削水供給ノズルが配設されたブレードカバー本体と、該ブレードカバー本体との間で前記回転ブレードを挟むようにして前部側から切削水を供給する前部切削水供給ノズル体と、前記回転ブレードの状態を検出するブレード検出手段とから構成されるブレードカバーが装着されていて、前記前部切削水供給ノズル体は、作用位置と非作用位置とに位置付けられ、それに連動して前記ブレード検出手段が作用位置と非作用位置とに位置付けられる切削装置のブレードカバー。

IPC (3件)：

B28D 7/00 , B28D 5/02 , H01L 21/301

FI (3件)：

B28D 7/00 , B28D 5/02 A , H01L 21/78 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

切削装置のブレードカバー
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-122971 出願人：株式会社ディスコ
精密切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-335079 出願人：株式会社ディスコ
特開平3-250644

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