特許

J-GLOBAL ID：200903031177965640

機能素子、機能素子識別装置および機能素子識別方法

発明者： 清水 信宏 ,  高橋 寛 ,  白川部 喜春
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-165629
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352137
出願日： 1998年06月12日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 半導体ウェハから取り出される機能素子に対して、その半導体ウェハ上に形成されていた位置を識別できる機能素子、機能素子識別装置および機能素子識別方法を提供する。【解決手段】 機能素子として例えばカンチレバー30に、ウェハ上においてそのカンチレバー30が形成されていた位置を特定できる識別マークを形成する。光源41によってその識別マークに光を照射し、反射される反射光52を受光部42において受光して電気信号に変換する。変換された電気信号は、AMP43を介して信号処理部44に送信され、信号処理部44は、その電気信号から識別マークを認識して、ウェハ上の位置を識別する。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハ上に形成されて当該半導体ウェハから分離して取り出される機能素子において、前記半導体ウェハから分離される前の当該半導体ウェハ上の位置を特定する識別マークを設けたことを特徴とする機能素子。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

G01N 37/00 G ,  H01L 21/02 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体装置の生産方法およびそれに使用される識別コード付け方法並びに装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-315535   出願人：株式会社日立製作所, 日立超エル・エス・アイ・エンジニアリング株式会社
• 半導体素子及び半導体素子の搭載方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-345599   出願人：京セラ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーチツプの作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096404   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平4-343009