形状測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊丹勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-116889
公開番号（公開出願番号）：特開2001-227940
出願日： 2000年04月18日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】誤差の蓄積のない正確な測定が可能で、しかも汎用性の高い形状測定方法を提供する。【解決手段】各部分測定範囲Bから代表となる測定データd(x,y)を抽出する。次に、抽出された代表となる測定データ群から所定のエネルギー関数Em(f)を定義し(S2)、この定義されたエネルギー関数Em(f)を最小にする面f(x、y)を求める(S3)。最後に、求まった面f(x、y)に対して、各部分測定範囲Bを移動させる。(S4)。

請求項（抜粋）：

全測定範囲を複数の部分測定範囲に分割して各部分測定範囲毎にまとまった測定を行った後、各部分測定範囲毎に求められた測定データから前記全測定範囲の形状を求める形状測定方法において、前記各部分測定範囲で求められた測定データの少なくとも一部を代表測定データとして抽出するステップと、このステップで抽出された全測定範囲の代表測定データに対して所定のエネルギー関数を当てはめて、このエネルギー関数が最小となる形状を求めるステップと、このステップで求められた形状に対して前記各部分測定範囲の測定データを移動させるステップとを備えたことを特徴とする形状測定方法。

Fターム (16件)：

2F069AA51 , 2F069DD30 , 2F069GG01 , 2F069GG06 , 2F069GG39 , 2F069GG49 , 2F069GG52 , 2F069GG56 , 2F069GG62 , 2F069HH01 , 2F069JJ08 , 2F069JJ26 , 2F069LL03 , 2F069NN05 , 2F069NN06 , 2F069QQ05

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平4-290907
表面プロフィール測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007586 出願人：川崎製鉄株式会社
近似関数演算装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-263358 出願人：富士通株式会社

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審査官引用 (8件)

特開平4-290907
表面プロフィール測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-007586 出願人：川崎製鉄株式会社
近似関数演算装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-263358 出願人：富士通株式会社

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