応力測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：竹本松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-097530
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295159
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：

【要約】【課題】微小構造の応力を、高い空間分解能で測定することができる応力測定装置を提供する。【解決手段】試料2に光を照射する照射手段1と、試料上の少なくとも照射部1のエネルギー状態を変調する変調手段6と、反射光強度パターンから応力値を求める処理手段3とを備える構成とする。照射手段1から試料2の照射点Pに光を照射するとともに、変調手段6は該照射点Pのエネルギー状態を変調し、処理手段3は該照射点Pで反射した反射光を検出器4で検出し、演算装置5において検出した反射強度パターンに基づいて応力値を演算する。

請求項（抜粋）：