特許
J-GLOBAL ID:200903031341118083
光熱反射型試料分析装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鎌田 文二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-167255
公開番号(公開出願番号):特開平11-014575
出願日: 1997年06月24日
公開日(公表日): 1999年01月22日
要約:
【要約】【課題】 局所加熱光源22の加熱光とレーザ探査光の位置合わせが不要で、装置の移動によっても、加熱光とレーザ探査光の一致条件に狂いが生じず、しかも装置自体も小型化することができる構造の光熱反射型試料分析装置を提供すること。【解決手段】 試料21を加熱する局所加熱光源22と、レーザ探査光を上記試料へ発射するレーザ探査光源24と、上記試料21から反射する上記レーザ探査光の強さを検出する光検出器26を備え、この光検出器26の検出結果に基づき試料評価を行う光熱反射型試料分析装置において、上記局所加熱光源22から試料21に至る加熱光路と、上記レーザ探査光源24から試料21に至る探査光路と、上記試料21から上記光検出器に至る反射光路を全て光ファイバによって形成し、かつこれら光ファイバによって形成した加熱光路と探査光路と反射光路の全光路のうち、少なくとも試料21側の先端部を一本の光ファイバによって構成した。
請求項(抜粋):
試料を加熱する局所加熱光源と、レーザ探査光を上記試料へ発射するレーザ探査光源と、上記試料から反射する上記レーザ探査光の強さを検出する光検出器を備え、この光検出器の検出結果に基づき試料評価を行う光熱反射型試料分析装置において、上記局所加熱光源から試料に至る加熱光路と、上記レーザ探査光源から試料に至る探査光路と、上記試料から上記光検出器に至る反射光路を全て光ファイバによって形成し、かつこれら光ファイバによって形成した加熱光路と探査光路と反射光路の全光路のうち、少なくとも試料側の先端部が一本の光ファイバによって構成されていることを特徴とする光熱反射型試料分析装置。
IPC (3件):
G01N 25/72
, G01N 21/47
, G01N 21/88
FI (4件):
G01N 25/72 G
, G01N 25/72 Z
, G01N 21/47 B
, G01N 21/88 E
引用特許: