特許
J-GLOBAL ID：200903031396372019

基板枚葉処理装置

発明者：
岩崎 達也

岩崎 達也 について

, 
濱田 公徳

濱田 公徳 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045614
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219433
出願日： 1996年02月08日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：
【要約】【課題】 基板の搬送を迅速に行えるようにし、かつ装置の小型化を図れるようにすること。【解決手段】 LCD基板Gを載置する複数段の載置手段20,21と、複数のLCD基板Gを収容するバッファカセット30と、載置手段20,21とバッファカセット30に対してそれぞれLCD基板Gを授受する基板搬送手段40とを設ける。上記各載置手段20,21を水平面に所定角度回転可能に形成し、基板搬送手段40を水平、垂直及び回転可能に形成することにより、LCD基板Gの搬送を迅速に行うことができる。
請求項（抜粋）：
基板を載置する載置手段と、複数の基板を収容する基板収容手段と、上記載置手段と基板収容手段に対してそれぞれ基板を授受する基板搬送手段とを具備し、上記載置手段を複数段設けると共に、各載置手段を水平面に所定角度回転可能に形成し、上記基板搬送手段を水平、垂直及び回転可能に形成してなる、ことを特徴とする基板枚葉処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/304 341
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/30 502 J
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-282113   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-154337   出願人：東京エレクトロン東北株式会社
  • 真空処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-061253   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
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