特許
J-GLOBAL ID：200903031438957012
隔膜型ガス雰囲気試料ホルダ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-289430
公開番号（公開出願番号）：特開2009-117196
出願日： 2007年11月07日
公開日（公表日）： 2009年05月28日
要約：
【課題】 2軸傾斜可能で、部品同士のカジリ等による動作不良が無く、試料位置再現性の高い隔膜型ガス雰囲気試料ホルダを提供する。【解決手段】 隔膜型ガス雰囲気試料室120を有するシーリングブロック109は、Y軸上に同軸に構成された一対のY回転軸36と軸受け44により支えられている。ガスの流路となるガス供給側管18、 ガス排出側管19、軸受け収納孔39および隔膜型ガス雰囲気試料室120内部は、ゴムOリング40によって真空との気密を保持される。従って、シーリングブロック109は、Y軸を中心にして真空との気密を保ったまま傾斜動作することができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡の鏡体を貫通する試料ホルダ装着部材により支持される試料ホルダであって、
電子線の通路に交差して鏡体を貫通するホルダ軸方向を長手方向とするフレームと、該フレームに支持され、外部の真空雰囲気に対して内部に収容する試料をガス雰囲気に保持する隔膜型ガス雰囲気試料室を有する試料収容具と、前記隔膜型ガス雰囲気試料室にガスを供給し排出するための管と、前記フレームを前記長手方向軸回りに回動し、前記試料収容具を前記長手方向軸回りに傾斜させる傾斜調節手段とを備える試料ホルダにおいて、
前記長手方向軸に対して直交する方向に回転軸を有する回転部材及び該回転部材を支持する回転部材支持部材を介して、前記試料収容具は前記フレームに回転可能に支持されるとともに、前記回転部材支持部材の外側面には1本又は複数本のガス通過溝が前記隔膜型ガス雰囲気試料室側と前記フレーム側の両端面を結ぶように設けられており、前記隔膜型ガス雰囲気試料室にガスを供給し排出するための管と前記隔膜型ガス雰囲気試料室とは前記ガス通過溝を介して連通するように構成されていることを特徴とする、隔膜型ガス雰囲気試料ホルダ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01J37/20 A
, H01J37/18
, H01J37/20 C
5C001AA01
, 5C001AA05
, 5C001AA08
, 5C001BB03
, 5C001CC03
, 5C033KK09
