収差補正光学系

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-256486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092424
出願日： 1993年09月20日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】光学系のテレセントリックな光路中に配置して該収差を種々と補正することができる収差補正光学系を得ること。【構成】光学系の物体側及び/又は像面側のテレセントリックな光路中に配置され、該光学系の収差を補正する収差補正光学系において、該収差補正光学系は該光学系の光軸に沿った断面が楔形状となっている透光性の光学部材を複数個有し、該複数個の光学部材はある状態において全体として平行平面板となるように対向配置しており、該全ての光学部材が一体となって任意の方向に傾動可能で、且つ該光学部材の少なくとも1つが該光学系の光軸と交差する方向に移動可能であること。

請求項（抜粋）：

光学系の物体側及び/又は像面側のテレセントリックな光路中に配置され、該光学系の収差を補正する収差補正光学系において、該収差補正光学系は該光学系の光軸に沿った断面が楔形状となっている透光性の光学部材を複数個有し、該複数個の光学部材はある状態において全体として平行平面板となるように対向配置しており、該全ての光学部材が一体となって任意の方向に傾動可能で、且つ該光学部材の少なくとも1つが該光学系の光軸と交差する方向に移動可能であることを特徴とする収差補正光学系。

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平2-166719
特開平3-017610
露光装置及びそれを用いた半導体チップの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-024414 出願人：キヤノン株式会社

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審査官引用 (7件)

露光装置及びそれを用いた半導体チップの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-024414 出願人：キヤノン株式会社
特開平2-166719
特開平3-017610

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