音響センサ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：板谷康夫 , 田口勝美 , 水田愼一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-023757
公開番号（公開出願番号）：特開2007-208548
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】静電容量型の音響センサにおいて、容易な製造方法により寄生容量を低減し、小型化、耐ノイズ性の向上、高感度化、及び低コスト化を実現する。【解決手段】音響センサ1は、シリコン基板2に形成され音響によって振動する振動板3と、振動板3に対向するバックプレート4とを有し、両者間の容量変化を検出することによって音響を検出するセンサであって、振動板3は、その振動板3及びバックプレート4のいずれよりも小さい範囲に、バックプレート4との間の容量を形成するための対向電極となる導体部31を備え、導体部31は振動板3に不純物をドーピングすることにより形成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコン基板に形成され音響によって振動する振動板と、前記振動板に対向するバックプレートとを有し、前記両者間の容量変化を検出することによって前記音響を検出する音響センサにおいて、前記振動板は当該振動板よりも小さい範囲に前記バックプレートとの間の前記容量を形成するための対向電極となる導体部を備え、前記導体部は前記振動板に不純物をドーピングすることにより形成されていることを特徴とする音響センサ。

IPC (5件)：

H04R 19/04 , H01L 29/84 , H04R 31/00 , H04R 19/00 , G01H 11/06

FI (5件)：

H04R19/04 , H01L29/84 Z , H04R31/00 C , H04R19/00 330 , G01H11/06

Fターム (24件)：

2G064AB13 , 2G064BA07 , 2G064BD05 , 4M112AA06 , 4M112BA07 , 4M112CA01 , 4M112CA03 , 4M112CA04 , 4M112CA11 , 4M112CA13 , 4M112DA02 , 4M112DA04 , 4M112DA18 , 4M112EA02 , 4M112EA04 , 4M112EA06 , 4M112EA18 , 4M112FA20 , 5D019AA25 , 5D019DD01 , 5D021CC07 , 5D021CC12 , 5D021CC20 , 5D021DD01

引用特許：

出願人引用 (3件)

集積化された容量性トランスデューサの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-276498 出願人：セムセントルスイスデレクトロニクエドゥミクロテクニクソシエテアノニム-ルシェルシュエデベロプマン
特公平4-081868号公報
ソリッドステートコンデンサ及びマイクロホン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-058161 出願人：モノリシック・センサーズ・インコーポレーテッド

審査官引用 (4件)

ソリッドステートコンデンサ及びマイクロホン装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-058161 出願人：モノリシック・センサーズ・インコーポレーテッド
圧力センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-030783 出願人：株式会社フジクラ
音響検出機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-148918 出願人：東京エレクトロン株式会社

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