特許
J-GLOBAL ID：200903076987960320
音響検出機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
北村 修一郎
, 山▲崎▼ 徹也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-148918
公開番号（公開出願番号）：特開2004-356707
出願日： 2003年05月27日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：
【課題】振動板を厚みを制御して必要な厚さに形成しながら、振動板の歪みが抑制される音響検出機構を構成する。【解決手段】単結晶シリコン基板301をベースとした支持基板Aの多結晶シリコン膜303で振動板Bを形成し、この振動板Bと対向する位置に対してスペーサDを介して背電極Cを配置し、この背電極Cの厚みを5μm〜20μmに設定した。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板にコンデンサを形成する一対の電極を有し、この一対の電極のうち一方の電極はアコースティックホールに相当する貫通穴を形成した背電極であり、他方の電極は振動板である音響検出機構であって、
前記基板に対して前記振動板を形成し、この振動板と空隙を挟んで対向する位置に前記基板に支持される状態で前記背電極を形成し、この背電極が5μm〜20μmの厚みの多結晶シリコンで形成されていることを特徴とする音響検出機構。
IPC (5件)：
H04R19/01
, H01L29/84
, H04R7/02
, H04R7/04
, H04R19/04
H04R19/01
, H01L29/84 Z
, H04R7/02 Z
, H04R7/04
, H04R19/04
4M112AA06
, 4M112BA07
, 4M112CA01
, 4M112CA11
, 4M112CA14
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA06
, 4M112DA10
, 4M112DA11
, 4M112DA12
, 4M112DA14
, 4M112DA18
, 4M112EA03
, 4M112EA04
, 4M112EA06
, 4M112EA07
, 4M112EA10
, 4M112EA11
, 4M112FA09
, 4M112FA20
, 5D016EC21
, 5D016HA01
, 5D016HA07
, 5D016JA16
, 5D021CC02
, 5D021CC08
, 5D021CC19
, 5D021CC20
