特許
J-GLOBAL ID：200903031537348915
レーザ気化分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
潮谷 奈津夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294788
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113449
出願日： 1995年10月17日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 レーザ光を利用した材料成分の分析装置であって、材料の元素分布および異常部を、ある範囲にわたって短時間に且つ適確に検出することができる。【解決手段】 パルスレーザ発振器1と固定反射鏡2とガルバノミラー3とからなるパルスレーザ発振光学系と、レーザ集光レンズ6と選択反射鏡5とからなり、これらが1つのステージ8上に搭載されているマイクロプローブ照射光学系と、レーザー光の照射用セル9とからなり、ガルバノミラー3は、発振されたパルスレーザ光を、試料の線分析の幅方向に一定振幅で照射し、幅方向の走査を行い得るように揺動可能になっており、そして、マイクロプローブ照射光学系のステージ8は、発振されたパルスレーザ光を、試料に照射し、線方向の走査を行い得るように移動可能になっている。
請求項（抜粋）：
パルスレーザー発振器と固定反射鏡とガルバノミラーとからなるパルスレーザー発振光学系と、レーザー集光レンズと選択反射鏡とからなり、これらが1つのステージ上に搭載されているマイクロプローブ照射光学系と、そして、前記パルスレーザー発振器から発振されたレーザー光を分析対象試料に照射するための照射用セルとから構成されており、前記パルスレーザー発振光学系のガルバノミラーは、前記パルスレーザー発振器から発振されたパルスレーザー光を、前記試料の線分析の幅方向に一定振幅で照射し、幅方向の走査を行うように揺動可能になっており、そして、前記レーザー集光レンズおよび選択反射鏡が搭載されている、マイクロプローブ照射光学系のステージは、前記パルスレーザー発振器から発振されたパルスレーザー光を、前記試料に照射し、線方向の走査を行うように移動可能になっていることを特徴とするレーザ気化分析装置。
IPC (3件)：
G01N 21/73
, G01N 1/28
, G01N 21/88
G01N 21/73
, G01N 21/88 Z
, G01N 1/28 T
