走査画像の補正方法、そのプログラム、及びレーザ走査型顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大菅義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-211226
公開番号（公開出願番号）：特開2004-053922
出願日： 2002年07月19日
公開日（公表日）： 2004年02月19日
要約：

【課題】光ビームの光軸ずれに起因する走査画像の位置ずれを補正する。【解決手段】予め、ズーム光学装置2のズーム倍率毎に、光ビームのビーム径が変化させられた際に生じる光軸の角度ずれに起因する走査画像の位置ずれ量を、その走査画像の位置ずれが相殺されるような、XYスキャナ3の中心角の移動量に変換し、それを対ズーム補正データとして記憶媒体11bの対ズーム補正データテーブルに登録しておく。実際に標本画像取得処理においては、ズーム光学装置2に設定されているズーム倍率に応じた対ズーム補正データを対ズーム補正データテーブルから読み出し、その対ズーム補正データに基づいてXYスキャナ3の中心角を制御する。これにより、上記課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光ビームを標本上に集光する対物レンズと、前記標本上において前記光ビームを二次元走査するための走査機構と、前記対物レンズの瞳の位置における前記光ビームのビーム径を変化させるための、前記走査機構とレーザ光源との間に配置されたビーム径変換光学装置とを備えたレーザ走査型顕微鏡により取得される走査画像の補正方法であって、前記ビーム径変換光学装置の動作により前記対物レンズの瞳の位置における前記光ビームのビーム径が変化させられた際に生じる光軸の角度ずれに起因する走査画像の位置ずれ量に基づいて前記走査機構を制御する、ことを特徴とするレーザ走査型顕微鏡により取得される走査画像の補正方法。

IPC (2件)：

G02B21/36 , G02B26/10

FI (3件)：

G02B21/36 , G02B26/10 C , G02B26/10 104Z

Fターム (10件)：

2H045AB01 , 2H045BA12 , 2H052AA08 , 2H052AC15 , 2H052AC23 , 2H052AC34 , 2H052AD05 , 2H052AD09 , 2H052AF06 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (4件)

走査型レーザ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-156378 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平4-042117
画像入力装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-104774 出願人：株式会社ニコン

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