特許
J-GLOBAL ID：200903031665440042

薄膜キャパシタ、圧電フィルタおよびその製造方法、ならびに分波器、通信機

発明者：
河村 秀樹

河村 秀樹 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-320640
公開番号（公開出願番号）：特開2005-093465
出願日： 2003年09月12日
公開日（公表日）： 2005年04月07日
要約：
【課題】 良好な性能を得ることができる、圧電薄膜を誘電体薄膜として用いた薄膜キャパシタ、圧電フィルタおよびその製造方法、ならびに分波器、通信機を提供する。【解決手段】 本発明の薄膜キャパシタ1は、圧電性の誘電体薄膜である圧電薄膜5の上下面を一対の上部電極6および下部電極4と対向させて挟む構造のキャパシタ部を基板2の表面上に有する。基板2の裏面であって前記キャパシタ部と対向する箇所に、基板2の表面と非平行な面を有する凹部7が形成されている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
1層以上の圧電性の誘電体薄膜を有する薄膜部の上下面を少なくとも一対の上部電極および下部電極と対向させて挟む構造のキャパシタ部を基板の表面上に有する薄膜キャパシタであって、 前記基板の裏面であって前記キャパシタ部と対向する箇所に、基板の表面と非平行な面を有する凹部が形成されていることを特徴とする薄膜キャパシタ。
IPC (11件)：
H01G4/33 ,  H01G4/40 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04 ,  H01L41/08 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H01L41/22 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02 ,  H03H9/17
FI (10件)：
H01G4/06 102 ,  H03H3/02 C ,  H03H9/02 K ,  H03H9/17 F ,  H01L27/04 C ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 D ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/22 Z ,  H01G4/40 A
Fターム (16件)：
5E082AB03 ,  5E082BB01 ,  5E082CC20 ,  5E082DD13 ,  5E082FG03 ,  5E082FG27 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038EZ06 ,  5F038EZ20 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC09 ,  5J108CC11 ,  5J108JJ02 ,  5J108MM11
引用特許：
出願人引用 (3件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM