特許
J-GLOBAL ID:200903031774556727
レーザーパワー検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-076603
公開番号(公開出願番号):特開2003-270579
出願日: 2002年03月19日
公開日(公表日): 2003年09月25日
要約:
【要約】【課題】 光学部品内部での多重反射による干渉を防止して精度良く光量検出ができるレーザーパワー検出装置を提供することを目的とする。【解決手段】 レーザーパワー検出装置10は、ビームLの一部を光量センサ14に導く複合中間ミラー12のB面12Bが凸状の球面とされているため、光量センサ14に入射するビームL2と複合中間ミラー12内部で多重反射してB面12Bから出射されるビームが平行となることはなく、干渉を生ずることもない。したがって、光量センサ14でビーム光量を精度良く検出できる。
請求項(抜粋):
光ビームの光路上に配設され、前記光ビームの一部を反射する反射手段を有し、前記反射手段の反射側あるいは透過側の少なくとも一方にパワーを有する光学素子と、前記光学素子のパワーを有する側から前記光ビームの一部が入射する光量検出センサと、を備えることを特徴とするレーザーパワー検出装置。
IPC (5件):
G02B 26/10
, B41J 2/44
, G02B 17/08
, H04N 1/036
, H04N 1/113
FI (6件):
G02B 26/10 Z
, G02B 26/10 B
, G02B 17/08 Z
, H04N 1/036 Z
, B41J 3/00 D
, H04N 1/04 104 A
Fターム (23件):
2C362AA53
, 2C362BA84
, 2H045BA22
, 2H045CB42
, 2H045DA41
, 2H087KA19
, 2H087TA01
, 2H087TA03
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DE30
, 5C072AA03
, 5C072DA02
, 5C072DA04
, 5C072DA10
, 5C072HA02
, 5C072HA13
, 5C072HB02
, 5C072XA05
引用特許:
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