特許
J-GLOBAL ID：200903031775644239
荷電粒子ビーム露光方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 眞吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-103998
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312338
出願日： 1994年05月18日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】荷電粒子ビーム露光のスループットを向上させる。【構成】D/A変換器33の出力を、ローパスフィルタを介し増幅回路34で増幅し、駆動信号として主偏向器25に供給する。D/A変換器33の出力が最大値から最小値に変化する際に、該駆動信号に含まれる過渡波形の電子ビームEBに対する影響を打ち消すため、副偏向器26に供給する駆動信号に、予め波形補正メモリに格納した補正波形データを読み出して、回路42、45、43及び44を介し副偏向器26に供給する。また、電子ビームEBを主偏向器25で所定方向へ連続的に偏向させ、移動ステージ22を該所定方向と直角な方向へ連続的に移動させ、移動ステージ22の目標位置に対する検出位置の誤差を副偏向器26により補正する。
請求項（抜粋）：
露光対象物(21)上に入射する荷電粒子ビーム(EB)を該露光対象物上で走査させるために、主偏向器(25)及び該主偏向器よりも走査範囲の狭い副偏向器(26)で該荷電粒子ビームを偏向させ、該荷電粒子ビームで該露光対象物を露光させる荷電粒子ビーム露光方法において、D/A変換器(33、43)の出力に基づいて該主偏向器又は該副偏向器に駆動信号を供給し、該D/A変換器の出力が変化する際に該駆動信号に含まれる過渡波形の該荷電粒子ビームに対する影響を打ち消すために、該主偏向器又は該副偏向器に供給する駆動信号に、予め定めた補正信号を含ませる、ことを特徴とする荷電粒子ビーム露光方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 504
, G03F 7/20 521
