炭酸ガスレーザ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田村弘明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-178410
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026855
出願日： 1997年07月03日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】何らかの原因でレーザ発振器内の光軸ズレが発生しても、装置を止めて光軸調整を人手で行う必要のない炭酸ガスレーザ装置を提供する。【解決手段】出力ミラーと全反射ミラーとを備えた炭酸ガスレーザ発振器と、レーザ発振器のレーザ出側に設けられたレーザビーム分岐ミラーと、分岐させたレーザビームの光路上に設けられたレーザビーム位置検出センサと、レーザビーム位置検出センサより出力された情報よりレーザビーム位置のずれた方向を判断し、これに応じて出力ミラーと全反射ミラーとの一方若しくは双方の駆動方向を決定する制御装置と、制御装置の決定した方向に出力ミラーと全反射ミラーとの一方若しくは双方を駆動させるミラー駆動装置とを備えたことを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。

請求項（抜粋）：

出力ミラーと全反射ミラーとを備えた炭酸ガスレーザ発振器と、レーザ発振器のレーザ出側に設けられたレーザビーム分岐ミラーと、分岐させたレーザビームの光路上に設けられたレーザビーム位置検出センサと、レーザビーム位置検出センサより出力された情報よりレーザビーム位置のずれた方向を判断し、これに応じて出力ミラーと全反射ミラーとの一方若しくは双方の駆動方向を決定する制御装置と、制御装置の決定した方向に出力ミラーと全反射ミラーとの一方若しくは双方を駆動させるミラー駆動装置とを備えたことを特徴とする炭酸ガスレーザ装置。

引用特許：

審査官引用 (13件)

特開平4-120780
レーザ発振光オートアラインメント装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-059821 出願人：株式会社篠崎製作所
特開平4-259278

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