特許
J-GLOBAL ID：200903031834420790
波長変換装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-063630
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258645
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 繰り返し周波数の高い200nm以下のレーザー光を得て合成石英等の硝材に与える損傷を小さくし、半導体露光装置等の装置寿命を長くすること;有毒ガスを使用せず、レーザー部品の寿命を長くすること;高い繰り返し周波数とパルスの安定性とを両立させて半導体露光装置等のスループットを高めること;全固体の紫外光源を実現し、信頼性、サイズ、メンテナンス、給排水設備等の問題を充分に向上させること。【解決手段】 レーザー発振器1からの波長1.06μmのレーザー光2の波長変換により波長532nmの2次高調波5を得、このレーザー光を更に波長変換して波長266nmの4次高調波8を得、上記2次高調波5、又はレーザー発振器1’のレーザー光2’の波長変換による波長536nmのレーザー光5’を用いてチタニウムサファイアレーザー発振器11を発振させて波長約700nmのレーザー光を得、このレーザー光と波長266nmのレーザー光8とをレーザー発振器11内で非線形結晶15上にて和周波混合して波長190nm付近のレーザー光18を得る。
請求項（抜粋）：
第一の波長のレーザー光を発生する第一のレーザー発振器と、前記第一のレーザー発振器からの前記第一の波長のレーザー光を波長変換して、前記第一の波長より短い第二の波長のレーザー光を発生する波長変換部と、前記第二の波長のレーザー光を波長変換して、前記第二の波長より短い第三の波長のレーザー光を発生する波長変換部と、500nm以上、550nm以下の波長のレーザー光を入射させて、前記第一の波長より短くかつ前記第二の波長より長い第四の波長で発振する第二のレーザー発振器と、前記第三の波長のレーザー光と前記第四の波長のレーザー光とを前記第二のレーザー発振器内で和周波混合して、前記第三の波長より短い第五の波長のレーザー光を発生する波長変換部とを有する波長変換装置。
IPC (4件)：
G02F 1/37
, H01S 3/109
, H01S 3/11
, H01S 3/16
G02F 1/37
, H01S 3/109
, H01S 3/11
, H01S 3/16
審査官引用 (2件)
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光源装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-315087
出願人：株式会社ニコン
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固体レーザ発振器及び露光装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平6-020115
出願人：株式会社日立製作所
引用文献：
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